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Sächsisches Institut für Oberflächenmechanik

Mehrlast-Indentationen zur Ermittlung echter Eigenschaftsprofile

Preise

ab 200 € zzgl. MwSt.

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Häufig wachsen Beschichtungen während der Abscheidung nicht homogen oder die Oberfläche wird durch eine Oberflächenbehandlung stärker verändert als das darunter liegendes Material (Substrat). Beides kann dazu führen, dass sich die Struktur, Phase oder Zusammensetzung der Schicht bzw. Oberfläche von der Oberfläche zum Substrat hin übergangsartig oder stufenweise ändert. Das führt in der Regel auch dazu, dass sich die mechanischen Eigenschaften ändern und resultiert somit in einem Gradienten oder Quasi-Schichten. Beides können wir mit Hilfe von Mehrlasteindringprüfungen und unserer „Oliver-&-Pharr-Methode erweitert für Schichten” exakt bestimmen.

Hinweis: Damit sind die tatsächlichen mechanischen Eigenschaften (z.B. Elastizitätsmodul und Fließgrenze) der Gradienten, Quasi-Schichten oder Schichten über die Tiefe in der Probe gemeint und nicht nur die effektiven Eigenschaften für einen angenommenen, effektiven Halbraum (klass. Oliver-Pharr-Methode) als Funktion der Eindringtiefe des Indenters. Nur letzteres bieten heutzutage viele Geräte selbst an.

Profile des E-Moduls und der Fließgrenze einer homogenen Funktionsschicht
E-Modul- (links) und Fließgrenzenprofil (rechts) einer homogenen Funktionsschicht aufgetragen gegen die Probentiefe
Profile des E-Moduls und der Fließgrenze einer inhomogenen Funktionsschicht
Profil des E-Moduls (links) und der Fließgrenze (rechts) einer inhomogenen Funktionsschicht aufgetragen gegen die Probentiefe

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